Синтез плёнок оксида кобальта на поверхности полупроводников методом пиролиза аэрозолей (направление 020900)

Глава 1. Получение наноплёнок химическими методами
Отправной точкой химического синтеза наноплёнок является инициация химической реакции и последующий контроль над ходом реакции и ростом образующегося продукта. Понимание сути этих процессов и уровень контроля над ними определяют успешность достижения цели – получения наноплёнок с желаемым составом и формой.
Первоначальным методом получения наноразмерных плёнок является осаждение на подложку из парогазовой фазы. Также осаждение происходит из растворов, но наиболее эффективно электролитическое (электрохимическое) осаждение, обеспечивающее расширенный спектр возможностей по регулированию параметров процесса осаждения.
Также развивается золь-гель метод получения плёнок. Он основан на способности, хелатных комплексов с ионами металлов, образовывать ...

Наноплёнки, наряду с наночастицами и кластерами, занимают очень важное место в современной науке.
Это связано с тем, что, вещества, находящиеся в наноразмерном состоянии проявляют нестандартные химические и физические свойства. Для них характерно снижение энергии активации, а следовательно повышение химической активности, также появление необычных поверхностных явлений и реакций. Практически все методы синтеза наночастиц и наноплёнок в том числе, приводят к их получению в неравновесном метастабильном состоянии. С одной стороны, это обстоятельство осложняет их изучение и использование в технологии для создания стабильных устройств, с другой стороны, неравновесность системы позволяет осуществлять необычные и трудно прогнозируемые новые химические превращения.
Использование именно наноплёнок в промышленности, электронике, химии привлекает внимание учёных всего мира.
Полупроводниковые плёнки могут использоваться для изготовления различных микросхем, транзисторов, газовых датчиков и.т.д. Алмазоподобные и керамические наноплёнки обладают уникальным комплексом свойств - высокой твердостью и прочностью, износостойкостью, химической стойкостью, прочностью сцепления с подложкой, благодаря чему их ...

1. В ходе работы была разработана методика получения наноостровковых и плёночных структур на поверхности полупроводникового кремния пиролизом аэрозолей растворов солей. Используемый метод позволяет получать наноплёнки при температурах не превышающих 400оС.
2. Проведенные исследования морфологии поверхности методами сканирующей туннельной микроскопии показало образование на поверхности образцов островковых наноструктур, а также плёнок размер которых составляет 150-200 нм.. Согласно полученным данным, пленки имеют неоднородную структуру, характер которой зависит от времени напыления. Причины возникновения подобной структуры установлены не ...